Sistem air penyejukan proses terdiri daripada bahagian berikut: penyejuk, pam, penukar haba, tangki air, penapis, dan peralatan proses.
Penyejuk air: Sediakan sumber sejuk untuk sistem air penyejukan.
Pam air: tekan air untuk memastikan peredarannya dalam sistem penyejukan.
Penukar haba: Gunakan peralatan ini untuk menukar haba antara sistem air sejuk dan sistem air sejuk untuk memindahkan haba yang dijana pada hujung beban sistem ke sistem air sejuk.Terdapat banyak jenis penukar haba, yang boleh dibahagikan kepada jenis shell-dan-tiub, jenis plat, jenis plat-fin, jenis paip haba, dan lain-lain mengikut bentuknya.Sebagai perbandingan, penukar haba plat mempunyai kelebihan jejak kecil dan kawasan pemindahan haba yang besar.Mengambil kira ciri kos ruang dan keluasan'loji semikonduktor, peralatan dengan tapak kecil lebih disukai untuk menjimatkan kawasan tanah dan kos kejuruteraan.
Tangki air: Tangki air dalam sistem terbuka terutamanya memainkan peranan menambah sumber air.Tangki air dalam sistem tertutup perlu memilih tangki air pengembangan.Tangki air pengembangan mempunyai tiga fungsi.Satu adalah untuk membendung dan mengimbangi pengembangan dan pengecutan air dalam sistem;yang lain adalah untuk memberikan tekanan yang stabil kepada sistem air beredar tertutup dan memainkan peranan dalam penstabilan sistem;Yang ketiga adalah sebagai petunjuk pam air sistem, biasanya tangki pengembangan menghantar isyarat untuk memulakan atau menutup pam air sistem.
penapis: menapis zarah pepejalTerdapat dua sistem yang agak bebas dalam sistem air penyejukan proses, air sejuk dan air penyejuk.Air sejuk disediakan oleh penyejuk, dan air sejuk dan air penyejuk bertukar haba untuk menyejukkan air penyejuk dan mengurangkan suhu peralatan.Air dipam dari peralatan pengeluaran melalui pam air ke penukar haba untuk memastikan suhu proses menyejukkan air dengan mengawal jumlah air sejuk, dan kemudian dihantar ke peralatan barisan pengeluaran selepas melepasi penapis, dan kemudian kembali ke pam air.Proses pembentukan air penyejuk berulang kali beredar.Air sejuk terus dikembalikan ke penyejuk.